四川九天中創(chuàng)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
高端制造設(shè)備高科技企業(yè)
產(chǎn)品描述
• 面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中游晶圓生產(chǎn)企業(yè)及下游封裝測(cè)試企業(yè)開發(fā)的高精度半導(dǎo)體晶圓、晶粒的外觀缺陷檢測(cè)設(shè)備；
• 檢測(cè)劃傷、背崩、色差、開裂、劃偏、金屬殘留、金屬缺失等缺陷；
• X行程200mm，重復(fù)精度10μm；Y行程45mm，重復(fù)精度10μm；Z行程15mm，重復(fù)精度5μm；
• 兼容2、4、6、8寸晶圓檢測(cè)；
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