產(chǎn)品描述
【設備CT】
18x硅片≤0.83S,210硅片≤0.9S
【破片率】
≤0.02% (排除硅片自身質(zhì)量、隱裂、人為操作失誤等因素)
【印刷精度】
單次印刷≤±25 μm,4個Mark點定位≤±6 μm
【UP TIME】
≥98.5%【刮刀行程】0-290mm
【印刷速度】
≥500mm/s
【回墨速度】
0-1500mm/s
【印刷壓力】
0-150N
【產(chǎn)品優(yōu)勢】
1. 大扭矩高精度水冷DD馬達,重復定位 精度為±2arcsec,高精度像素相機進行Mark點定位,實現(xiàn)±6μm的定位精度;
2. 卷紙傳輸結構,硅片傳輸速度快,位 置準確,同時卷紙結構可避免臺面臟污 產(chǎn)生應刷不良、破片等不良影響;
3. 臺面玻璃采用雙面研磨,透光性好, 平面度高;
4. 網(wǎng)版糾偏結構采用直線電機驅(qū)動,實現(xiàn)高速、高精度定位的同時,減少絲杠、 軸承、聯(lián)軸器等結構的維護成本,網(wǎng)版 升降采用龍門雙Z軸,速度快,同步性好, 保證印刷時網(wǎng)版與玻璃臺面平行度。
關鍵詞:
自動化設備
絲印設備
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